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产品描述
台阶仪,
NanoMap-LS 接触式三维表面台阶仪
特点 :
探针台阶仪是利用探针扫描样品表面,仪器记录探针随样品表面高低起伏状态,整合数据得到台阶高度,表面形貌,沟槽深度等特征。
双模式操作(针尖扫描和样品台扫描)
针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,
三维扫描范围从150mm X 150m
样品台扫描扫描范围到100mm
纳米级抛光光学参考平晶
实时彩色光学照相机直接观测
双光学传感器 纵向测量范围**至1000um,*小到分辨率0.1nm
恒定微力接触 *小0.03mg
简单友好的人机操作界面
应用
台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。
三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
薄膜和厚膜的台阶高度测量
划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量
空间分析和表面纹理表征
平面度和曲率测量
二维薄膜应力测量
微电子表面分析和MEMS表征
表面质量和缺陷检测
环境要求
湿度:10-80%, 相对湿度,无冷凝
温度:65-85 华氏度(△T<1度/小时)
电源要求:110/240V,50/60 Hz
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